Kostir:
Þessi röð dælu er góð í afköstum við erfiðar umhverfi (hár hiti, ryk osfrv.), Stöðug í afköstum og með langan líftíma og einfalt viðhald og þægilegan rekstur líka.
Umsóknir:
Helstu forrit eru í iðnaðar leka uppgötvun, PVD, CVD, jón ígræðslu, tómarúm rafeindabúnað framleiðslu, lág-E gler, ITO gler, sjónhúð, sólarfrumur, rafeindageisla suðu, tómarúm ofn og aðrar atvinnugreinar
Upplýsingar:
Flans (í) | DN400 ISO-K | Gas í gegnum (sccm) | N2: 5500 |
Flans, út, KF | DN100 | Hann: 4000 | |
Dæluhraði (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Hann: 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Snúningshraði (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Aðgangstími (mín. | ≤18 | |
Þjöppunarhlutfall | N2: 108 | Kælitegund, staðall | Vatn |
Hann: 103 | Neysla kælivatns (L/mín.) | ≥1 | |
H2: 102 | Hitastig kælivatns (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Rafmagnstenging: Spenna (V AC) | DC24/AC220 | |
Háþrýstingur (Pa) | 6 × 10-6 | Hámarksnotkun (W) | ≤1100 |
Max. Stöðugur lofttæmdur þrýstingur (Pa) | 100 | Gerð stjórnanda | FD-III |
Max. Þrýstingur fyrir tómarúm | N2: 300 | Þyngd (kg) | 130 |