Segulmögnuðu sameindadælurnar eru dælurnar sem axlarinn er studdur af í krafti segulkrafts.
Röð segulmagnaðra sameindadæla er tómarúmskyns búnaður þróaður af KYKY til að uppfylla kröfur um notkun á sviðum nútíma hálfleiðara framleiðslu, flísframleiðslu, iðnaðarhúðun og vísindaleg tæki.
Tækni:
- Stjórnunartækni fyrir segulmagnaðir legur: Samþykkt rafsegulsvið er 5-ása segulmagnað. Þessi hönnun getur haft kraftmikið svörun og tímanlega aðlögun með kraftmikilli virkri segulmagnaðri fjöðrunartækni með fjöðrun sem byggir á háþróaðri alþjóðlegri stjórnunarkenningu, til að tryggja svo verulega kosti háhraða öxlsins sem stöðugan sviflausan og áreiðanlegan rekstur.
- Motor Drive Control tækni: Háhraða háhraða DC mótor og servóstýrikerfi er beitt á röð segulmagnaðir dælur til að hafa hámarks orku vélarinnar og bæta sjálfkrafa snúningshraða skaftsins og átta sig þannig á stöðugri gangsetningu, áreiðanlegri notkun og sjálfvirkri stjórnun virkni kraftmikillar orku.
- Kolefnistrefja samsett snúningartækni: Turbo snúningar raðsegulmagnaðra fjöðrunarsameindardæla eru gerðar með því að blanda saman hástyrkri ál og léttri kolefnistrefjum. Í samanburði við alla álblöndunartæki, túrbóhjólarnir einkennast af mikilli þyngdarlækkun og mikilli styrkingu, þannig að markmiðum um mikinn snúningshraða, mikla afköst og mikla áreiðanleika er náð.
- Tæringarþolin tækni: Yfirborð hluta í hólfum raðsegulmagnaðra fjöðrunarsameinda dæla eru meðhöndluð með sérstöku ferli, þannig að yfirborðin geta staðist tæringu af völdum ætandi lofttegunda í hálfleiðara framleiðsluferlum í langan tíma. Að auki eru slíkar óvirkar lofttegundir eins og N2 fylltar að fullu í innsigli dælanna til að vernda lága tómarúmshlutana í dælunum, þannig að virkni þess að stöðugt tæmir ætandi lofttegundir í langan tíma.
- Hitastjórnunarkerfi: Röð segulmagnaðir sveifluð sameindadælur eru búnar rafmagnshitara og hitastýringu, þannig að hægt er að fylgjast með og stjórna kælivatni, loftbeinhitun, rafhitun og hita sem berst með hlífðargösum meðan á notkun stendur, hitastigi í dælunum er hægt að viðhalda kl. einhver verðmæti til lengri tíma litið, sum loftkennd efni breytast ekki í föst efni við eðlilegt hitastig og koma ekki fyrir í dælunum og hægt er að uppfylla kröfur um sérstakt ferli eins og ætingu.
Kostirnir:
1. Núll núning við notkun og lítil orkunotkun
2. Auðvelt að eignast mjög hreint hátómarúm og öfgafullt hátt tómarúm án smurningar fyrir dælur
3. Getur dregið út ætandi lofttegundir til langs tíma
4.High öryggi og langur líftími vegna verndar legur með nákvæmni keramik kúlur
5.aflsframleiðsla ef skyndilega slokknar
Upplýsingar:
Fyrirmynd |
CXF-200/1401E |
Dæluhraði (l/s, loft) |
1400 |
Þjöppunarhlutfall |
> 1 × 107 |
Ultimate Vacuum (Pa) |
≤2 × 10-6 |
Inntaksflans |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Outlet flans |
KF 40 |
Snúningshraði (snúninga) |
33000 |
Aðgangstími (mín.) |
6 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Bakdæla (L/s) |
15 |
Festing eða uppsetning |
Einhver |
Kælingaraðferð |
Vatn |
Þyngd (kg) (með stýringu) |
51 |
Umsóknir:
Röð segulmagnaðra sameindadæla er aðallega beitt á svið hálfleiðara framleiðslu, bútaframleiðslu, iðnaðarhúðun og vísindatæki, sérstaklega til útdráttar ætandi lofttegunda sem eru til í ætingu, CVD, PVD og jónarígræðslu og lofttegundir sem geta auðveldlega storknað við eðlilegt hitastig.